浙江半自动FOUP清洗机维修价格
江苏芯梦/JSXM,成立于2019年8月,位于苏州吴中经济开发区,致力于提供衬底的制造、集成电路制造、先进封装及大硅片制造领域湿法制造环节工艺设备的综合解决方案。江苏芯梦/JSXM,成立于2019年8月,位于苏州吴中经济开发区,致力于提供衬底的制造、集成电路制造、先进封装及大硅片制造领域湿法制造环节工艺设备的综合解决方案。
江苏芯梦成立三年来高速发展,现有员工人数近300人,其中40%为技术研发人员,近3年营收复合增长率超100%。江苏芯梦始终坚持创新,不断攀登半导体湿法装备技术高峰,自主研发的国内首台全自动ENEPIG化学镀设备目前市场占有率国内;自主研发的全自动FOUP清洗设备成功打破国外垄断。芯梦半导体为您量身打造专业清洗解决方案!浙江半自动FOUP清洗机维修价格
优点
装载晶圆直径至200mm的花篮和片盒一或不同晶圆尺寸的花和片盒,同时可装载晶圆直径至300mm的前端开口片盒(Foup片盒)三种设备尺寸满足客户特殊需求
CleanStepl-用于4组花篮和片盒加载和清洗能力:每次4组花和片盒清洗产能:每小时12组花篮和片盒、>、CleanStepll-用于8组花篮和片盒加载和清洗能力:每次8组花篮和片盒清洗产能:每小时24组花篮和片盒
CleanStepIl-用于6组前端开口片盒(Foup)加载和清洗能力:每次6组前端开口片盒(Fup片盒)清洗产能:每小时18组前端开门片盒(Foup片盒)
适用于晶圆直径至200mm的花篮和片盒的标准旋转笼(CleanstepI/II)
适用于所有片盒一次清洗过程
或是同时4组花篮和片盒,或是12个花跨(CleanstepI/II)
简单快捷的对不同尺寸的片盒和花篮进行切换
旋转笼内的可旋转载体方便加载或卸载花篮和片盒
通过控制系统对自锁装置的检测,达到安全加载片盒和花篮,、江苏半自动晶圆盒清洗机怎么收费江苏芯梦设备采用先进技术,助你轻松提升产能!
FOUP内的水分可以通过以下方法进行去除:真空干燥:将FOUP放置在真空环境中,利用真空的负压效应将FOUP内的水分蒸发。真空干燥可以有效地去除FOUP内的水分,但需要确保FOUP的密封性良好,以防止外部空气进入。热处理:将FOUP加热至较高的温度,使水分蒸发。热处理可以利用热能将水分从FOUP中驱除,但需要注意温度选择,以避免对FOUP材料或晶圆造成损害。干燥剂吸附:在FOUP内放置吸湿性较强的干燥剂,例如硅胶、分子筛等。这些干燥剂可以吸附FOUP内的水分,保持FOUP内的相对湿度较低。加热通风:通过在FOUP周围提供加热通风系统,将温暖的空气引入FOUP内。热空气可以提高FOUP内的温度,促进水分的蒸发,并通过通风系统将湿气排出。气体吹扫:使用干燥的气体,例如压缩空气或氮气,通过喷嘴或气流吹扫的方式将FOUP内的水分带走。气体吹扫可以在FOUP内产生气流,将水分从FOUP表面带走。
应用领域:主要应用于半导体行业《晶四制造、集成电路、先进封装,整个芯片湿法制程阶段均适用)、化合物行业、片盒制造厂;
适用于:Shipping boxes,如SEP、Integris、 Kakizaki DainichiFOSB、FOUP和其他品圆尺寸产品,可定制清洗从50mm到300mm品愿盒材料;
工作原理:本设备采用全自动方式,上料端/下料端可适配工厂自动传检线;将需要清洁的片盒放置在篮管内一传输机构依次将篮管传到一级超声清洗单元一一级喷洗单元一二级超声清洗单元一二级吗洗单元一一级干爆单元一二级干爆单元一下料单元一人工下料或对接工厂自动传输线。选择我司设备,让你的生产更加智能、自动化!
辅助功能和操作控制
触摸屏安装在前面一标准化
也可以通过安装第二个触摸屏在背面进行控制一选项
其他特征
工艺腔室内LED灯光照明
可安装去静电装置和电阳率监测装置选项
稳定、亚光不锈钢笼子
材料的外壳一可选择符合FM4910标准
PP材料的工艺腔室一可选择符合FM4910标准
设备前面带有滑动门一标准化为手动/可选择自动
设备前面的滑动门在做维护时可完全打开
其他种类的花篮和片盒相适应的组件一选项图形化的界面
易于操作和控制
10“触摸屏PLC控制器SECSIIGEM接口
江苏芯梦半导体设备有限公司的设备操作简单,效率高,是你的生产利器!半自动片盒清洗机维修价格
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5大系统结构:
纯水加热PWH、高压喷淋HPS、热风烘干HAD、快速甩干HSD、CDA/N2吹扫。
25组清洗:
工艺配方ProcessFormula,不同的Cassette灵活设定。
EN18822-H14:
高等级空气过滤系统;超纯水0.1um过滤,CDA0.03um过滤。
4寸~12寸全尺寸兼容,快速实现干进干出,30~60分钟完成1次清洗工艺节拍,更大吞吐量。
2仓2基地:
苏州+上海快速响应备件及现场技术服务寿命管理lifecycleManagement配备RFID数据读取和上传功能+SECSGEM200通讯系统,方便客户的数据管理Cassette使用情况浙江半自动FOUP清洗机维修价格
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